製品情報

EagleScope   new_02

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製品概要

実装データから計測用データを自動生成
実装精度を高精度に計測

基盤実装ラインの工程組み換えの際、または、量産基板の抜き取りチェックによる実装精度の確認にご使用頂けます。
また、メタルマスク検査対応モデルも発売予定。
ますますシビアになっていく実装品質の保証に、是非お役立てください。

 

Eagle Scope-SMT

EagleScopeSmt

1. 自動計測データ生成

  • 富士機械製造㈱社製ライン管理システムFUJI Flexa、及びCADデータから計測データを自動生成。
  • 各社実装機に対応
  • AutoProgramSMT

     
    2. レポート出力

  • 測定結果を自動でレポート出力。
  • 部品別の精度統計(3σ, cpk)データ等を出力します。
  • ESOutput
     
    3. 高精度

  • 独自の高精度なステージ補正制御により、基準点(フィデューシャルマーク)からの基板全体の実装精度を高精度に計測。
  • masureAccurate
     
    4. 高速

  • 自社開発の25Mカメラ『VI-SAI』を搭載し、高精度ながら、広視野で高速に計測
  • ESViSai

    Eagle Scope-MASK  

    EagleScopeMask

    1. 自動計測データ生成

  • 仕様前のメタルマスクをマスタデータとして登録するマスタ画像比較検査
  • 設計用のガーバーデータから検査用データを生成するガーバーデータ比較検査
  • ガーバーデータ比較検査は製品検査としてもお使い頂けます
  • AutoProgramMASK
    2. 自動外観検査

  • メタルマスク全体を自動外観検査。
  • 異物の付着などを検出し、OK/NGを判定します。
  • NG箇所へステージを自動で移動させ、目視チェックが可能です。
  • AutoProgramMASK

     

    仕様

    Eagle Scope-SMT Eagle Scope-MASK
    用途 基板の実装精度測定 メタルマスクステンシル検査
    基板の実装精度測定
    実装基板計測
    メタルマスク検査 ×
    FUJI Flexa対応
    Nexim 対応 対応予定
    CADデータ読み込み オプションにより対応
    対応CAD一例:図研CR500PWS、図研BD、CADENCE allegro、 Mentor Expedition
    対応ワーク サイズ Mサイズ基板(□50mm~400 x 300mm) メタルマスク:650 x 550mm
    実装計測:Mサイズ基板(□50mm~400 x 300mm)
    重量 10kg
    対象部品 サイズ 0.250mm x 0.125 ~ 74mm x 74mm
    高さ 0mm ~ 25.4mm(基板厚含む)
    筐体サイズ※1 965mm x 910mm x 960mm 1330mm x 1001mm x 1439mm
    重量※1 220kg 270kg
    ステージストローク 400mm(X) x 300mm(Y) x 30mm(Z)
    CMOSカメラ モノクロ2500万画素(5120 x 5120pixel)
    撮像面積:23.04 x 23.04mm 対角 32.58mm、ピクセルサイズ:4.5μm x 4.5μm
    レンズ倍率 10倍 5倍 2倍 2倍 1倍
    基板測定精度 ±5μm ±10μm ±25μm ±25μm ±50μm
    メタルマスク全面検査時間※2 - 38分0秒 9分30秒
    視野
    分解能
    2.304mm
    0.45μm/pix
    4.608mm
    0.9μm/pix
    11.520mm
    2.25μm/pix
    11.520mm
    2.25μm/pix
    23.04mm
    4.5μm/pix
    照明 同軸落射照明(白色)・リング照明(白色)

    1 重量、及び寸法には、制御ボックス、測定台、モニタ、マウス、キーボードは含まれておりません。
    2 当社実測による(計測部400 x 300mmの全面検査の場合)

     

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